Fiziksel Buhar Depozisyonu kaplama makineleri, çeşitli substratlarda ince, dayanıklı film katmanları oluşturmak için gelişmiş vakum teknolojisini kullanır.Bu sistemler öncelikle kirleticileri ortadan kaldırmak için yüksek vakumlu bir ortam oluşturur.Bu işlem, katı kaplama malzemelerinin termal buharlaşma veya püskürtme teknikleriyle buharlaşmasını içerir.Daha sonra iş parçasının yüzeyine yatan atomların yerinden çıkarılmasıBuharlama yöntemleri kaplama malzemelerini buhar fazına dönüştürmek için yoğun ısı kullanır.

Bu makineler, film kalitesinin tutarlı olmasını sağlamak için sıcaklığı, basıncı ve çökme hızlarını düzenleyen karmaşık kontrol sistemlerine sahiptir.Çoklu işlem odaları, vakum bütünlüğünü korurken sıralı kaplama uygulamalarına izin verirGelişmiş PVD sistemleri, kaplama yapışkanlığını ve yoğunluğunu iyileştirmek için plazma geliştirmeyi içerir.