Bir PVD kaplama makinesi, fiziksel buhar çökümü adı verilen bir süreçle çeşitli substratlara ince film kaplamaları uygulamak için kullanılan sofistike bir endüstriyel ekipmandır.Malzeme bir vakum odasında katı bir kaynaktan buharlaştırılır ve daha sonra hedef nesneye bırakılır.Yaygın PVD teknikleri, püskürtme ve buharlaştırmayı içerir.

Makine, bir çok önemli bileşenden oluşur. Kirlenmeyi önlemek ve buharlaşmış parçacıkların engelleri olmaksızın seyahat etmesini sağlamak için yüksek vakumlu bir oda gereklidir.Örneğin bir püskürtme hedefi veya bir buharlaşma teknesi., kaplama malzemesini tutar. Genellikle yüksek voltajlı DC veya RF kaynağı olan bir güç kaynağı, malzemeyi buharlaştırmak için gereken enerjiyi sağlar. Substrat tutucular kaplanacak öğeleri sabitler,Ve aynı kapsamı sağlamak için dönüp hareket edebilirler.Gelişmiş kontrol sistemleri basınç, sıcaklık ve çökme hızı gibi parametreleri yönetir.