PVD kaplama makinesi, ince filmleri fiziksel buhar biriktirme işlemleri yoluyla çeşitli alt tabakalar üzerine biriktirmek için kullanılan gelişmiş bir endüstriyel aparattır. Malzemelerin katı bir kaynaktan buharlaştırıldığı ve daha sonra hedef ürün üzerinde yoğunlaştırıldığı yüksek vakumlu bir odada çalışır. Temel teknikler arasında püskürtme, buharlaştırma ve iyon kaplama yer alır; bunların her biri aşınma direncini arttırmak, korozyona karşı korumayı geliştirmek veya dekoratif kaplamalar sağlamak gibi özel uygulamalar için özel olarak tasarlanmıştır.

Kaplama işlemi alt tabakanın vakum odasına yerleştirilmesiyle başlar. Daha sonra argon gibi inert bir gaz verilmeden önce kirletici maddelerin uzaklaştırılması için oda boşaltılır. Püskürtme için yüksek voltajlı bir plazma üretilir, bu da iyonların hedef malzemeyi bombardıman etmesine neden olur, hareket eden ve alt tabakaya yapışan atomları dışarı atar. Buharlaştırma için, kaynak malzeme buharlaşana kadar ısıtılır ve yoğunlaşma üzerine ince bir film oluşturulur.